湖南净化车间工程的要害作用是出示一个身心健康的衣食住行和出产进程,造就一个考虑照明灯具、溫度、环境湿度、噪声、气体总流量、工作压力、静态数据和食物卫生标准如微震动自然环境,使有关的服务项目和产品,以考虑我们的身心健康要求的自然环境,供给一个好的室内空间,自然环境操纵,从而合理地进步产品的达标率,改进和进步服务水平的有关总体目标。
湖南净化车间工程的温度湿度要害根据加工工艺规矩明确,但在考虑加工工艺规矩的标准下,要考虑到人的舒shi度。伴随着气体洁净度规矩的进步,对溫度和环境湿度的规矩愈来愈严苛。伴随着出产加工准确度的进步,对溫度崎岖领域的规矩会愈来愈小。
高环境湿度会构成大量的难题。当相对湿度超出55%时,冷却循环水壁厚曝露。假定它产生在高精机器设备或电源电路中,就会构成各式各样安全事故。相对湿度通常在50%锈蚀。除此之外,当环境湿度很高时,粘附在硅单晶表层的尘土会被气体中的水分有机化学地粘附在表层,它是没办法除去的。相对湿度、粘结性越高,则越难除去,但当相对湿度小于30%时,又因为静电感应颗粒物对表层吸咐的损害,还十分简单对很多集成电路工艺构成热击穿。硅单晶出产制作的溫度领域要适合。
比如,在规模性集成电路芯片构成的光刻曝出全进程中,夹层玻璃与硅单晶做为掩模原材料的线膨胀系数差规矩愈来愈小。直经100um的硅单晶,溫度升高1度,就构成了0.24um线形澎涨,因而须有±0.1度的控温,另外规矩环境湿度值较低,因为人流汗之后,对产品将会有环境污染,十分是钠的半导体材料出产车间,这类出产车间不可超出25度。